產(chǎn)品簡(jiǎn)介 在線橢偏儀儀器介紹：在鍍膜或刻蝕的過(guò)程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。技術(shù)參數(shù)：·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)樣品膜層變化 詳情介紹 在線橢偏儀 儀器介紹 在鍍膜或刻蝕的過(guò)程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。 在線橢偏儀 技術(shù)參數(shù) ·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)樣品膜層變化 主要特點(diǎn) 將激發(fā)和探測(cè)頭引入生產(chǎn)設(shè)備，可實(shí)現(xiàn): · 動(dòng)態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚變化 · 光譜模式：監(jiān)測(cè)薄膜的界面和組分 上一篇： Ultima Expert高性能ICP光譜儀 下一篇： Smart SE智能型多功能橢偏儀

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